Центр коллективного пользования «Чистые помещения для микро- и нанообработки»

В 2023-2024 годах в Центре исследовательской инфраструктуры Сколтеха был запущен уникальный комплекс оборудования для прототипирования устройств на базе фотонных интегральных схем (ФИС) — более 30 единиц оборудования. Обеспечен замкнутый цикл создания интегрально-оптических устройств: кристальное производство, участок сборки и участок измерений.


Цель: создание в Сколтехе центра прототипирования изделий на базе ФИС —от телекоммуникационного оборудования и систем квантового распределения ключей до медицинских изделий, лидаров, оптоволоконных сенсорных систем и др.


Планы на 2024-2030 гг.: разработка и развитие базовых платформ, разработка сборочной платформы. Разработка электро-оптического модулятора на 20 ГГц для оптических трансиверов, развитие технологии до 40 ГГц и выше. Разработка твердотельных лидарных систем. Перспективные применения.

ключевые возможности
результаты на 2024 г.
диаметр пластин до 150мм
платформы «Кремний на изоляторе», «Нитрид кремния» и «Ниобат лития»
критические размеры от 65нм
активная оптическая стыковка в торец и с помощью дифракционных элементов
корпусирование
электро-оптическая характеризация
библиотеки проектирования (process design kit, PDK) на базе отечественного ПО
планируемый объем выпуска в формате MPW (multi-project wafer) до 600 чипов 10х10 мм в год
потенциал трансфера технологий на создаваемые в РФ экспериментальные производства ФИС
контакты

Сколковский институт науки и технологий

Территория Инновационного Центра «Сколково»

Россия, Москва, 121205, Большой бульвар д.30, стр.1