Micro- and Nanofabrication Cleanroom Shared Facility

ключевые возможности

результаты на 2024 г.

диаметр пластин до 150мм

платформы «Кремний на изоляторе», «Нитрид кремния» и «Ниобат лития»

критические размеры от 65нм

активная оптическая стыковка в торец и с помощью дифракционных элементов

корпусирование

электро-оптическая характеризация

библиотеки проектирования (process design kit, PDK) на базе отечественного ПО

планируемый объем выпуска в формате MPW (multi-project wafer) до 600 чипов 10х10 мм в год

потенциал трансфера технологий на создаваемые в РФ экспериментальные производства ФИС

contacts

Skolkovo Institute of Science and Technology

The Territory of the Skolkovo Innovation Center

Russia, Moscow, 121205, Bolshoy Boulevard, 30, bld.1